Разработване на сензорни елементи на основата на композитни тънки слоеве и наноструктури от метални оксиди

KП-06-Н87/8

Основната цел на настоящият проект е:

Създаване на композитни тънки слоеве и наноструктури от метални оксиди за детекция на газове с ниски концентрации, работещи при стайна температура. Сензорните елементи ще бъдат създадени чрез използване на физически методи за отлагане като импулсно лазерно отлагане и магнетронно разпрашване, както и тяхното комбинирано прилагане.

Конкретни задачи на проекта:

⇒ Да се формират композитни тънки слоеве и/или наноструктури на основата на добре известни полупроводникови метални оксиди (ZnO, TiO2, SnO2, WO3 и др.) чрез прилагане на импулсно лазерно отлагане във въздух (с къси и ултракъси лазерни импулси), магнетронно разпрашване и комбинираното прилагане и на двата метода.

⇒ Да се изследват морфологията, структурата и химичният състав на получените тънки слоеве или наноструктури от смесени метални оксиди.

⇒ Да се проведат тестове за определяне на сензорното поведение на изследваните тънки слоеве или наноструктури при въздействие с различни газови компоненти.

⇒ Въз основа на получените резултати от охарактеризирането и експериментите за определяне на сензорното поведение на различните тънки слоеве или наноструктури от смесени метални оксиди, да се оптимизират условия на синтеза им (използвания метод за синтез и конкретните процесни параметри).

⇒ Да се определи оптималната система за създаване на сензорен елемент, който работи при относително ниска температура и показва селективност и добра чувствителност при ниски концентрации на въздействащите газове.